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功能介紹:

本設備以拋棄型之離子交換樹脂作為處理方式,主要提升比電阻大於 17.0 MΩ-cm以上,以達到超純水之等級。半導體級樹脂則是進一步提升比電阻大於 18.0 MΩ-cm以上,避免TOCParticle之洩漏,等級較核子級樹脂高,但通常會與核子級樹脂串連設計,以保護半導體級樹脂之使用壽命。

 


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