空氣汙染防制 超重力設備解決方案
穩定達標 | 降低風險 | 符合ESG與法規要求
半導體製程在蝕刻、清洗、溶劑使用等環節，常伴隨酸性氣體、鹼性氣體、水溶性VOC與細懸浮微粒 (PM2.5) 排放。
康淳科技提供整合式空氣汙染防制解決方案，針對高濃度、變動性高或複合型廢氣，透過高效率氣液接觸技術，有效去除揮發性有機物 (VOC)、酸性與鹼性氣體及細懸浮微粒 (PM)，協助企業穩定符合空氣污染防制法規，降低營運與環境風險。
本系統特色在於於有限空間內，大幅提升污染物的吸收與反應效率，使廢氣能在極短停留時間內完成處理，兼顧處理效能、能源使用與長期運轉穩定性，適用於高科技製程及一般工業應用。
法規要求
依《空氣污染防制法》，製程廢氣須經有效收集與處理後方可排放。半導體及相關製程須符合：VOC 排放濃度 (ppm) 或去除效率要求、酸性氣體 (硫酸、鹽酸、硝酸等) 排放標準。
法規趨勢已由「總量管制」逐步轉向排放管道 (煙囪) 濃度即時與個別管制。個別污染物排放削減率應達96%或個別排放管道濃度 <0.3 ppm。
未符合法規風險包含高額裁罰、改善期限與停工風險、ESG 評鑑不合格。
超重力定義
藉由外部施以高速旋轉的離心力，在設備反應腔室內部形成100G超重力場
在超重力場有助提高氣體和液體間的質傳效應，可讓揮發性物質從液膜中迅速分離，或使液膜捕捉氣體中的可溶性物質和懸浮粒子。
超重力技術在工業上應用：
- 移除排氣中的污染物
- 分離廢水中的揮發性污染物
- 從氣體中回收可資源化的氣態物質
超重力技術&優勢 (High Gravity)
旋轉產生離心力提供絕佳的氣體-液體質傳反應，適用高黏度的液體、具備旋轉自清功能、不易堵塞填充材、維護保養容易
與傳統空污設備相比，超重力技術具備：
- 較小的設備佔地面積
- 更佳的處理效率
- 較低的循環水量
可有效處理之污染物
- 酸性氣體
- 有機氣體
- 鹼性氣體
- 氣體中的懸浮粒子
適用產業
- IC 半導體
- LCD / 面板
- PCB 製造
- 一般工業製程
